行業大量平價反射膜厚儀僅配備單一鹵素光源,光譜僅覆蓋 400-1100nm 可見光近紅外區間,缺失 190-400nm 深紫外波段;紫外波段對 20~100nm 超薄介質膜、光刻膠、透明氧化層靈敏度,缺少紫外光會導致超薄膜干涉信號微弱、多層膜分層解析失效,僅能測量 50nm 以上單層厚膜,適配場景極度受限。藍景 LJ-FT50UV 機型搭載氘燈 + 鹵素雙光源組合,光譜完整覆蓋 190-1100nm 紫外 - 可見 - 近紅外全波段,寬光譜解析能力吊打單鹵素窄譜競品。



氘燈負責 190-400nm 深紫外波段激發,強化超薄透明薄膜干涉特征,解決 20nm 極限薄膜無法穩定測量的行業痛點;鹵素燈覆蓋 400-1100nm 可見光與近紅外,適配微米級厚膜、多孔功能涂層、高吸收有機膜層;雙光源同步輸出連續平滑光譜,無波段斷層,多層復合膜(光刻膠 + BARC、多層光學濾光膜、梯度新能源涂層)可獨立分層解析每層厚度與光學常數,無需分多次換設備測量。
對比僅鹵素光源的 LJ-FT50NIR 近紅外機型,UV 版氘鹵雙光源可覆蓋半導體、生物醫藥等高精密超薄膜場景,一臺設備兼容 20nm~50μm 全量程單層、多層膜檢測,無需分購紫外、紅外兩套檢測設備,大幅削減實驗室、產線儀器采購預算。寬光譜硬件搭配自研多維度光譜擬合算法,對高散射、弱反射薄膜信號做補償優化,雜散光抑制能力更強,復雜膜系擬合準確度顯著優于窄譜單光源設備,覆蓋半導體、顯示、光學、醫療、新能源全行業薄膜檢測需求。